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高真空低返油扩散泵

KTD系列高真空低返油油扩散泵为凸腔型,可获得10-2~10-5Pa高真空和超高真空,由于将水冷挡油帽与泵体组成个整体,提高了系统的有效抽速,节省了配置费用,具有抽速大,返油低,结构简单等特点,广泛用于电子、;冶金、真空镀膜、空间模拟等领域。

 

主要技术参数:
型号 极限压力 抽气速率 临界前级压力 返油率 加热功率 电源电压 冷却水用量 泵油牌号 泵油用量 推荐前级泵抽速 外形尺寸 重量
Pa 单泵 挡板 Pa 单泵 挡板 kW V L/h L L/s mm kg
K-100TD ≤5*10-5 ≥300 ≥240 ≥30 ≤5*10-3 ≤6*10-4 0.3 220 120 KS-3或275#硅油 KS-3oli-275# 0.12 15 305*170*385 10
K-320TD ≤5*10-5 ≥4200 ≥3500 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 4 220 500 1.5~1.8 30 730*500*910 70
K-500TD ≤5*10-5 ≥10000 ≥8000 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 6.9 380 750 4.4~5 70 1065*680*1285 125
K-800TD ≤5*10-5 ≥24000 ≥20000 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 15 380 1200 10 300 1700*1000*1955 850
K-1000TD ≤5*10-5 ≥38000 ≥32000 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 24 380 1500 16 300 2020*1290*2325 980
K-1200TD ≤5*10-5 ≥55000 ≥50000 ≥40 ≤5*10-3 ≤6*10-4 24 380 2400 16~20 500 2300*1550*2670 1640

特性曲线:



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